真空室制造商

欢迎来到百川,您在半导体、光伏和科研行业精密真空腔领域的首选合作伙伴。我们融合尖端技术和卓越专业技术,打造引领行业的真空腔产品。

  • 定制铝、不锈钢和钛真空腔。
  • 高真空(HV)和超高真空(UHV)腔室。
  • 最大工作范围 6500*4200*1800mm。
  • 亚洲领先的摩擦搅拌焊接(FSW)能力。
  • 泄漏检测设备、清洗设备、热处理设备。

安全保密的上传服务。您的设计在我们这里绝对安全。

百川精密——领先的定制真空室

百川精密拥有超过18年的卓越经验,始终走在定制真空腔解决方案的前沿。我们工厂配备了30多台先进的设备,充分体现了我们对品质和创新的不懈追求。我们的产品和服务享誉全球,并自豪地服务于美国、加拿大、德国、日本、韩国、荷兰和英国等国家和地区的众多行业。百川精密致力于将雄心勃勃的工程设计与实际应用完美结合,确保我们生产的每一台真空腔都达到最高的效率和耐用性标准。

本页目录

定制真空腔的复杂之处可能令人眼花缭乱,因此我们精心准备了一份全面的指南供您参考。为了确保您能快速找到所需信息,我们在下方创建了一个便捷的内容目录。点击任何章节即可立即跳转到相关信息。

的解决方案

焊接

产品展示

材料

后期处理

检查

应用

常见问题

我们的处理能力

超大型龙门加工

无论是不锈钢、铝合金还是钛合金,无论是高真空腔还是超高真空腔,无论是一体式腔还是焊接腔,从常规尺寸到超大型产品,我们都能满足您对真空腔的任何需求。我们配备了最大行程达 6500*4200*1800mm 的超大型数控龙门加工中心,使您的设计和产品不再受限于加工能力,助您实现对真空腔更高要求的愿景。

龙门加工

我们的焊接能力

焊接真空室

焊接团队

我们拥有一支由应用材料公司前焊接工程师领衔的专业焊接团队,精通真空腔体的各种焊接技术,例如钎焊、电子束焊接、激光焊接、氩弧焊、真空钎焊、真空扩散焊接和轨道焊接。不同的焊接方式适用于不同的材料,例如铝、不锈钢和钛,并能满足您对真空腔体焊接的各种需求。

摩擦搅拌焊 (FSW)

摩擦搅拌焊接(FSW)是一种创新的固态连接工艺。该技术主要用于连接传统熔焊方法难以焊接的材料,特别是铝和其他有色金属,但也已成功应用于钢、钛甚至热塑性塑料的焊接。我们很荣幸向您介绍我们亚洲领先的摩擦搅拌焊接技术。焊接深度可达80-100毫米。

为什么真空室需要焊接?

焊接是真空腔体结构、完整性和功能的基础,确保其满足预期应用的严格要求。焊接在真空腔体的制造和维护中起着至关重要的作用,原因有以下几点。

气密密封:真空室的主要功能是维持室内的真空或受控气氛。焊接是形成气密密封的关键,可以防止空气或气体泄漏进出真空室。这确保了真空的完整性,对于真空室的应用过程至关重要,例如科学研究、航空航天和半导体制造。

强度和耐久性:真空腔需要承受内部压力差而不发生变形或断裂。焊接可提供牢固的连接,足以应对真空腔在其使用寿命期间所承受的应力。这种结构完整性至关重要,尤其对于在高压、高温或腐蚀性环境下使用的真空腔而言更是如此。

材料兼容性:真空室通常由不锈钢、铝或钛等低释气率金属制成——这是维持真空完整性的关键特性。针对这些材料,人们开发了相应的焊接技术,以确保焊缝本身不会成为气体泄漏或污染源。

复杂形状和定制化:焊接技术可以制造出形状复杂或可定制的腔室。这对于需要独特腔室设计以容纳特定设备、样品或工艺的科学实验或工业流程至关重要。

维修与改造:随着时间的推移,真空腔可能会因磨损而需要维修,或者需要进行改造以适应新的工艺或设备。焊接是一种用途广泛的方法,既可用于修复损坏(例如裂缝或泄漏),也可用于进行改造(例如添加新的接口或改变腔体尺寸)。

减少污染:正确的焊接技术可以最大限度地减少腔室内的污染风险,这对于需要高纯度环境的工艺(例如半导体制造或材料科学实验)至关重要。

定制真空室的类型

高真空和超高真空产品

特征:

  1. 压力范围:

    • 高真空:通常在 10^-3 到 10^-7 Torr 之间。
    • 超高真空:通常低于 10^-7 Torr,最高可达 10^-12 Torr 或更低。
  2. 材料要求:高压和超高真空系统中使用的材料必须具有低释气率,以最大程度地减少污染和压力升高。常用材料包括不锈钢、铝和陶瓷。表面通常经过电抛光处理,以减少气体的吸收和解吸。

  3. 密封技术:密封件必须防止任何空气泄漏到真空系统中。由于金属密封件的释气率低于弹性体密封件,因此在超高真空系统中通常首选金属密封件。

  4. 真空泵:为了达到并维持所需的真空度,通常会使用不同类型的真空泵,而且往往是组合使用。涡轮分子泵和离子泵常见于超高真空(UHV)应用中,而旋片泵和扩散泵则常见于高真空(HV)装置中。

  5. 真空测量:精确测量至关重要。电离式真空计通常用于超高真空(UHV)条件下,因为它们对极低压力非常敏感。

适用范围

  1. 半导体制造:高压和超高真空环境对于半导体制造至关重要,可以防止污染,从而避免微芯片出现缺陷。

  2. 表面科学:涉及表面物理和化学性质的研究通常需要超高真空条件,以防止污染并允许准确测量表面相互作用。

  3. 粒子加速器:粒子加速器的运行中同时使用高压和超高真空,以最大限度地减少粒子与任何残留气体之间的相互作用,这些相互作用可能会影响实验结果的质量。

  4. 空间模拟舱:高压和超高真空舱用于模拟太空真空,以在与航天器在轨道上将遇到的条件类似的条件下测试航天器组件和传感器。

  5. 纳米技术:纳米级材料和器件的制造和研究通常需要超高真空条件,以确保表面纯度并实现对原子和分子的精确操控。

  6. 电子显微镜:超高真空在某些类型的电子显微镜中至关重要,这些显微镜需要真空条件来防止空气分子干扰用于对样品成像的电子束。

  7. 同步辐射设施:这些设施需要超高真空条件,以防止空气分子吸收或散射产生的同步辐射。

球形真空室

球形真空室
  • 特点:

    • 球形真空室顾名思义,形状呈球形。这种设计能够使压力从各个方向均匀分布,这对于某些类型的实验或过程非常有利。
    • 它们通常设有多个端口(开口),可用于插入仪器或进行抽真空和充气。这些端口的位置通常经过精心设计,以便灵活使用。
    • 球形有利于减少死角,防止气体积聚而无法有效排出。
  • 适用范围:

    • 球形腔室常用于等离子体研究、气体动力学和粒子物理等领域,在这些领域中,各向同性(在所有方向上均匀)条件是必需的。
    • 它们也适用于需要高真空度的应用,因为它们的设计可以促进更均匀的抽真空和更少的泄漏。
    • 非常适合需要从多个角度观察内部结构和进行操作的实验或应用。

圆柱形真空室

圆柱形真空室
  • 特点:

    • 圆柱形腔室的形状像圆柱体,两端为圆形,中间部分较长且笔直。这种形状在容积和表面积之间取得了良好的平衡,这在某些应用中非常有利。
    • 根据应用需求,它们可以水平放置或垂直放置,并且可以设计成能够容纳大型或长形物品。
    • 这些腔室通常更容易实现尺寸扩展,从小型桌面型号到大型工业尺寸。
  • 适用范围:

    • 由于圆柱形真空室能够容纳较长的基板,因此在半导体和涂层行业中广泛用于物理气相沉积 (PVD) 和化学气相沉积 (CVD) 等工艺。
    • 它们还被用于材料科学与工程领域,在真空条件下测试和开发新材料。
    • 适用于需要在定向访问和容量之间取得平衡的应用场景。

圆柱形真空室

圆柱形真空室
  • 特点:

    • 圆柱形腔室的形状像圆柱体,两端为圆形,中间部分较长且笔直。这种形状在容积和表面积之间取得了良好的平衡,这在某些应用中非常有利。
    • 根据应用需求,它们可以水平放置或垂直放置,并且可以设计成能够容纳大型或长形物品。
    • 这些腔室通常更容易实现尺寸扩展,从小型桌面型号到大型工业尺寸。
  • 适用范围:

    • 由于圆柱形真空室能够容纳较长的基板,因此在半导体和涂层行业中广泛用于物理气相沉积 (PVD) 和化学气相沉积 (CVD) 等工艺。
    • 它们还被用于材料科学与工程领域,在真空条件下测试和开发新材料。
    • 适用于需要在定向访问和容量之间取得平衡的应用场景。

箱式(立方体)真空室

真空室
  • 特点:

    • 箱式真空室,顾名思义,呈盒状或立方体状。这种设计在给定占地面积内最大限度地增加了内部容积,从而提高了空间利用率。
    • 它们通常从顶部或侧面可以轻松进入内部,方便装卸材料或进行需要频繁交互的实验。
    • 箱式腔室可根据需求定制设计,配备多个端口、隔板和内部结构,以支持各种应用。
  • 适用范围:

    • 箱式试验箱常用于产品测试和质量保证实验室,以模拟产品可能遇到的真空条件,例如在航空航天和包装行业中。
    • 非常适合需要大型、易于进入的工作空间的应用,例如大规模工业流程、空间模拟和热真空测试。
    • 它们还用于材料科学、生物学和化学的研究与开发中,在这些领域,空间和可及性至关重要。

真空室产品展示

探索百川精密为您带来的定制化巅峰体验:您创新路上的合作伙伴。凭借我们先进的真空腔制造技术,您的创意将以无与伦比的精度变为现实。我们精益求精的品质体现在我们众多案例中,每一台定制真空腔都由我们技艺精湛的工匠精心打造。如果您正在寻找真空腔定制的极致之选,百川精密将是您的理想之选。加入我们,携手共创未来。

为什么选择我们?

选择百川意味着与一家不仅拥有强大的制造能力和尖端技术,而且对我们所服务的行业有着深刻理解的公司合作。

大量原材料库存

平台公司

全面的焊接和制造能力

超宽广且多类型的处理能力

先进的质量保证设施

完善的后期处理能力

没有什么比满意的客户的声音更有说服力了。

深入了解我们尊贵的合作伙伴的评价,了解我们如何精准卓越地满足他们的独特需求。

亚历克斯·约翰逊
亚历克斯·约翰逊工程经理
我们过去曾与多家供应商合作,但与百川精密公司的合作体验令人印象深刻。他们提供的真空腔不仅满足了我们严格的质量要求,还附带了相关认证,充分证明了其卓越品质。凭借其精湛的技术和在紧迫期限内交付的能力,百川精密公司帮助我们避免了代价高昂的延误。如今,百川精密公司已成为我们所有定制真空腔需求的首选合作伙伴。
劳拉史密斯
劳拉史密斯项目负责人
收到百川精密提供的真空腔体对我们的项目来说意义非凡。从工程设计到最终产品,他们对细节的关注正是我们所需要的。他们的团队提供的额外建议和支持更是至关重要,确保了真空腔体能够顺利集成到我们的系统中。百川精密的产品质量和服务给我们留下了深刻的印象。
纪念
纪念工业产品设计师
百川精密定制的真空室已到货,并与我们的系统完美集成。从所用材料到精湛的工艺,无不体现出其卓越的品质。他们的团队积极主动地与我们沟通,让我们在每个阶段都了解项目进展,确保项目顺利完成。百川精密为我们树立了供应商的新标杆。

作为一家为自身市场及其他公司开发新产品的小型企业的所有者,BC 一直是我们的主要金属和塑料原型零件供应商,给予我们极大的帮助。五六年来,我们一直依赖 BC 为众多产品制作原型,这些产品采用钢材、铝材和多种塑料制成。BC 能够充分理解我们的需求,并为定制应用找到合适的材料,例如特定等级的非磁性不锈钢。BC 还一直是我们电动自行车业务的不锈钢组件制造商,以及我们钻孔对准监测器聚碳酸酯零件制造商,此外,BC 还为多个行业的众多其他产品提供生产服务。

您好,我的妈妈 Mickaël,您好,请您观看我们与昆山百川精密公司的小型视频。如果是这样的话,请注意:注意、不注意、精确的工作、重新活动和沟通。我对琳达的对话非常仁慈,她和我们一起等待,没有耐心。谢谢。

轻松三步获取零件

加快真空室的交付速度。享受我们标准的7天交付周期。只需上传您的设计即可验证其是否符合要求。

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货物将在3-5天内送达。

自有物料仓库

物料仓库

您是否曾因原材料不符合要求而导致真空腔体出现缺陷?我们在成都和上海的仓库可提供超过2,000吨的现货铝材和不锈钢材料,满足各种尺寸真空腔体的加工需求,尤其适用于大型真空腔体的材料。我们配备了材料分析仪,对每批材料进行检测并出具材料证书,以确保您的真空腔体符合要求并拥有更长的使用寿命。

如何选择合适的材料?

真空腔是许多工业和科研应用中不可或缺的组件,例如半导体制造、材料科学研究和空间模拟测试。真空腔材料的选择至关重要,取决于具体应用的需求,例如真空度、耐化学性、机械性能和成本。

铝

因其重量轻、导热性好、性价比高而备受青睐,但不太适合化学腐蚀性强或超高真空应用。

不锈钢

它兼具耐用性、耐腐蚀性和低挥发性,是各种真空应用的理想选择。

钛

它们的强度重量比优异,耐腐蚀性极佳,是这些特性至关重要的特殊应用的理想选择,尽管成本较高。

零件后处理

工厂

清洁

真空室的清洁至关重要,尤其是在处理高真空 (HV) 和超高真空 (UHV) 系统时,即使是微量的污染物也会显著影响系统的性能。我们配备了专业的清洁车间,可以去除新完成的真空室表面的杂质和油渍。这种清洁效果无法用肉眼判断。

表面处理

我们提供一系列专业表面处理工艺供您选择:玻璃珠喷砂、机械抛光、喷砂和电抛光。我们的标准产品包括法兰和精密加工零件,表面粗糙度达到完美的 32 微英寸,密封表面则拥有超精细的 16 微英寸表面粗糙度。需要更高的精度?欢迎咨询我们的设计工程师,我们将根据您的具体要求量身定制解决方案。

喷砂

检查

欢迎来到我们最先进的净化车间!该车间经过精心设计,可确保超洁净的环境,这对于最大限度地减少敏感制造过程中的污染至关重要。

我们的万级洁净室每立方英尺空气中大于0.5微米的颗粒物少于35.2万个,这是我们行业高标准要求的重要指标。这种特殊的洁净环境使我们能够在最严格的洁净度和控制标准下对关键部件进行检验、组装和包装,从而确保我们产品的最高质量和可靠性。

车间配备了先进的空气过滤系统、严格控制的温湿度环境以及精密的静电和污染控制措施。车间内的每个区域都旨在优化生产流程的特定环节,从初始组装到最终检验,确保每个部件都符合我们以及我们眼光独到的客户的严格标准。

大型坐标测量机

尺寸检查

在常规尺寸检测流程中,我们首先在产品加工过程中以及加工完成后尽快进行机内检测。然后,将成品送至我们的三坐标测量机(CMM)进行二次尺寸检测。该CMM的最大检测范围为4000毫米,几乎可以检测所有产品。同时,每件产品都对应一份检测报告,您可以随时查看。

氦质谱检漏仪

泄漏测试

我们专注于为半导体行业提供高精度制造服务,因此,采用严格的泄漏测试程序对于维护我们作为高质量元器件供应商的声誉至关重要。我们先进的测试设备,包括氦质谱仪和超声波检测器,确保每个真空室都符合客户要求的最严格标准。

包装

真空包装是食品饮料、电子产品和制药等各个行业的关键工艺。这种包装方法在密封前抽出包装内的空气,显著降低包装内的氧气含量。氧气含量的降低有助于延长产品的保质期,保持产品品质,并防止外部因素的影响。

浏览我们全面的设备库存。

立即与我们合作,打造您的专属定制真空室。

真空室应用

在百川精密,我们不仅是供应商,更是您的精密合作伙伴。我们专注于定制数控加工真空腔,服务于半导体、光伏、PVD/CVD涂层等关键行业。凭借18余年的专业经验和先进的设备,我们致力于为您的项目提供高质量、精准定制的解决方案。

半导体制造

半导体制造

沉积(例如,物理气相沉积、化学气相沉积)、蚀刻和光刻。这些工艺需要在受控环境下进行,以确保在硅片上进行材料的高纯度和高精度分层和图案化。

医药和化学品

制药和化学品

在制药生产中,真空室用于冷冻干燥(冻干)以去除物质中的水分,从而提高药品的稳定性和保质期,而无需使用可能使产品变质的热量。

材料科学与工程

材料科学与工程

研究人员利用真空室研究材料在低压条件下的特性,这可以揭示出与大气压下不同的行为和特性。

空间模拟

空间模拟

模拟太空真空环境,测试航天器部件和卫星,确保它们能够承受在轨道上将面临的条件,包括极端温度和没有大气压力。

PVD机器

涂层技术

用于通过溅射或蒸发(PVD、CVD、FPD)等技术将材料薄膜沉积到基材上。这对于制造光学、电子和耐磨材料的涂层至关重要。

汽车行业

汽车行业

真空室用于去除汽车零部件中使用的塑料和树脂等材料中的气体。该工艺有助于减少缺陷,提高材料的质量和强度。

需要帮助?

常见问题

真空室通常采用不释放气体且蒸汽压低的材料制成,以维持稳定的真空环境。常用材料包括:

  • 不锈钢因其强度高、耐腐蚀、气体逸出率低而广受欢迎。
  • 铝因其轻便的特性和良好的导电性而被选中。
  • 钛及其他合金:用于对强度重量比和耐腐蚀性要求较高的应用场合。

真空腔最常用的材料是不锈钢。特别是304不锈钢,由于其强度高且能适应较大的温度变化范围,因此被广泛用于真空腔的制造。它具有良好的抗氧化性,并且可以通过焊接或钎焊连接。

我们生产各种真空腔,以满足不同应用和行业的需求:

  • 球形腔室:适用于需要均匀分布压力和最小死角的应用。
  • 圆柱形腔室由于其易于制造和用途广泛,因此很常见。
  • 箱式法庭:非常适合需要大内部空间和易于访问的应用。
  • 高真空室:专为需要真空度通常在 10^-6 至 10^-9 Torr 之间的应用而设计。这些腔室对于电子显微镜和某些薄膜沉积技术等工艺至关重要。
  • 超高真空室专为极低压力环境而设计,可达到低于 10^-9 Torr 的真空度。这在表面科学和粒子物理等领域至关重要,因为任何污染都可能影响实验结果。

是的,我们专长于定制真空腔,以满足客户的特定需求。无论您需要特定的尺寸、端口配置、馈通装置还是特殊涂层,我们都能根据您的具体要求量身定制产品。我们的工程团队与客户紧密合作,确保所有规格要求均得到满足。

当然。我们提供真空室安装、维护和维修的全面支持和服务方案。我们的团队可以协助现场安装,并为您的员工提供操作和维护程序方面的培训。

交货时间会根据腔室的复杂程度和定制程度而有所不同。通常,定制订单需要 4-10 周。我们始终致力于满足客户的时间安排,并在初步咨询中提供准确的预估时间。

CAD 文件格式不限:无论是 2D 还是 3D,我们都接受 STP、IGES、X_T、DWG、PDF、STL 等格式,确保没有我们无法处理的设计过于复杂。

项目详情:请告知您的预期数量、所需的加工工艺和材料要求,以便我们能够完美地根据您的需求量身定制服务。

精加工:指定任何二次加工工序,例如精加工细节、热处理、阳极氧化或电镀,以确保您的零件达到最高标准。

合规性和认证:请告知我们您遵守的任何关键行业标准或客户规范,包括首件检验、PPAP 要求和必要的认证。

其他信息:任何目标价格、期望交货时间或其他相关信息都将有助于我们调整服务以满足您的期望。

作为一家成立于2006年的公司,我们深知诚信的重要性,并极其重视保护客户的隐私。我们可以在收到您的图纸之前签署保密协议(NDA),所以请放心将您的设计交给我们!

没问题。您只需将各个角度的照片发送给我们,并告知我们样品的整体尺寸、材质、表面处理工艺和数量,我们就会给您一个大致的报价。如果您觉得价格合适,我们会根据您提供的图纸制作样品,并进行精细调整。

质量保证是我们生产流程中不可或缺的一部分。我们采取多种质量控制措施,包括:

  • 氦气泄漏测试:确保真空密封的完整性。
  • 材料检验:验证所用材料的质量和适用性。
  • 性能测试每个腔室都在运行条件下进行测试,以确保其符合所需规格。

关于真空室的更多信息

什么是真空室?

真空室是一个封闭空间,利用真空泵抽出空气和其他气体,从而在室内形成低压环境,通常称为真空。真空度是指真空室接近理想真空(即不存在任何物质粒子)的程度。

不同类型的真空室有什么区别?

真空室可根据其达到的真空度、设计以及具体应用进行分类。区别通常在于结构材料、真空产生技术以及真空室的最终用途。以下是不同类型真空室的详细介绍:

1.基于真空度

  • 低真空这些腔室通常在略低于大气压的压力下运行,最低可达约 1 托。它们常用于真空干燥和真空过滤等工业过程中。
  • 中真空中真空室的工作压力范围从 1 Torr 到大约 10^-3 Torr,用于真空包装和某些涂层技术等工艺。
  • 高真空这些腔室可达到 10^-3 至 10^-7 Torr 之间的压力。它们对于电子显微镜、某些薄膜沉积方法以及许多类型的科学研究等应用至关重要。
  • 超高真空超高真空室在低于 10^-7 Torr 的压力下运行,对于包括表面科学实验、粒子物理学和某些高精度制造工艺在内的先进科学研究至关重要。

2.基于设计和材料

  • 不锈钢腔室由于其高耐久性和低释气率,这些真空泵最为常用。它们适用于各种真空度,广泛应用于科研和工业领域。
  • 玻璃室玻璃腔室常用于实验室的中高真空环境中,可以观察内部过程,通常用于观察至关重要的实验。
  • 铝制腔室这些材料适用于需要轻量化的场合。铝材可以实现高质量的表面光洁度,这有利于超高真空环境,但其气体释放率可能高于不锈钢。

3.基于具体应用

  • 空间模拟舱这些大型腔室旨在模拟太空真空环境。它们必须能够达到高真空或超高真空条件,并用于测试航天器和卫星部件。
  • 热真空室这些试验舱主要用于航空航天测试,能够模拟太空的真空和温度条件。它们的设计目的是在保持真空的同时,实现极端温度的循环变化。
  • 脱气室:脱气室常用于材料科学和制造领域,用于去除液体和固体(如树脂)中滞留的气体,以防止最终产品中出现气泡或缺陷。
  • 低温室这些是专门设计的真空室,用于在极低温度下运行,通常与高真空条件结合使用。它们用于物理实验,这些实验需要将样品冷却到接近绝对零度。
  •  

真空室常用的配件有哪些?

真空室需要各种附件才能高效运行,并在真空环境中完成特定任务。以下是一些真空室最常用的附件:

1.真空泵

  • 旋片泵用于粗加工和实现低至中等真空。
  • 涡轮分子泵:常用于实现高真空。
  • 低温泵和离子泵用于超高真空应用。

2.真空表

  • 热电偶和皮拉尼压力表测量低真空至中等真空范围内的压力。
  • 离子计用于高真空和超高真空测量。
  • 电容式压力计:在广泛的真空度范围内提供精确的压力测量。

3.馈通

  • 电气馈通允许电信号或电力通过腔室而不破坏真空。
  • 流体馈通允许液体或气体流入或流出真空室。
  • 机械馈通:使真空内部能够进行运动,例如旋转或平移,并可从外部进行控制。

4.阀门和法兰

  • 闸阀:用于隔离真空系统的不同部分或将泵与腔室分离。
  • 蝶阀常用于控制大口径管道中的流量。
  • KF、CF 和 ISO 法兰:各种类型的法兰,可在真空系统的不同组件之间提供气密密封。

5.加热器和温度控制器

  • 加热器:用于提高腔室或其内容物的温度,以进行诸如脱气或退火等工艺。
  • 温度控制器监测和控制真空室内的温度,以确保工艺稳定性。

6.质谱仪和残余气体分析仪

  • 质谱仪:通过识别低压气体来分析真空的成分。
  • 残余气体分析仪用于检测和测量腔室内的痕量气体和污染物。

7.密室罩

  • 隔热罩:控制真空室内的热环境,常用于空间模拟试验。
  • 辐射防护罩保护腔室内的敏感元件免受辐射。

8.操纵器和样品支架

  • 机械手:能够使样品或工具在腔室内进行精确移动和放置的机械装置。
  • 样品持有者在实验或处理过程中,将样品固定到位。

9.挡板和陷阱

  • 挡板降低分子的速度和方向性,有助于泵送过程,防止污染物到达敏感区域。
  • 陷阱:捕获或中和真空系统内不需要的气体或颗粒。

10.清洁和维护工具

  • 清洁套件:专为清洁真空腔和组件而设计的专用工具和解决方案,以防止污染。

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定制铝、不锈钢和钛真空腔。高真空 (HV) 和超高真空 (UHV) 腔。最大工作尺寸 6500*4200*1800 毫米。亚洲领先的摩擦搅拌焊接 (FSW) 能力。检漏机、清洗设备和热处理设备。
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我们的处理能力

超大型龙门加工
龙门加工

无论是不锈钢、铝合金还是钛合金,无论是高真空腔还是超高真空腔,无论是一体式腔还是焊接腔,从常规尺寸到超大型产品,我们都能满足您对真空腔的任何需求。我们配备了最大行程达 6500*4200*1800mm 的超大型数控龙门加工中心,使您的设计和产品不再受限于加工能力,助您实现对真空腔更高要求的愿景。

我们的焊接能力

焊接真空室
焊接团队

我们拥有一支由应用材料公司前焊接工程师领衔的专业焊接团队,精通真空腔体的各种焊接技术,例如钎焊、电子束焊接、激光焊接、氩弧焊、真空钎焊、真空扩散焊接和轨道焊接。不同的焊接方式适用于不同的材料,例如铝、不锈钢和钛,并能满足您对真空腔体焊接的各种需求。

摩擦搅拌焊 (FSW)

摩擦搅拌焊接(FSW)是一种创新的固态连接工艺。该技术主要用于连接传统熔焊方法难以焊接的材料,特别是铝和其他有色金属,但也已成功应用于钢、钛甚至热塑性塑料的焊接。我们很荣幸向您介绍我们亚洲领先的摩擦搅拌焊接技术。焊接深度可达80-100毫米。

为什么真空室需要焊接?

气密密封:真空室的主要功能是维持室内的真空或受控气氛。焊接是形成气密密封的关键,可以防止空气或气体泄漏进出真空室。这确保了真空的完整性,对于真空室的应用过程至关重要,例如科学研究、航空航天和半导体制造。

强度和耐久性:真空腔需要承受内部压力差而不发生变形或断裂。焊接可提供牢固的连接,足以应对真空腔在其使用寿命期间所承受的应力。这种结构完整性至关重要,尤其对于在高压、高温或腐蚀性环境下使用的真空腔而言更是如此。

材料兼容性:真空室通常由不锈钢、铝或钛等低释气率金属制成——这是维持真空完整性的关键特性。针对这些材料,人们开发了相应的焊接技术,以确保焊缝本身不会成为气体泄漏或污染源。

复杂形状和定制化:焊接技术可以制造出形状复杂或可定制的腔室。这对于需要独特腔室设计以容纳特定设备、样品或工艺的科学实验或工业流程至关重要。

维修与改造:随着时间的推移,真空腔可能会因磨损而需要维修,或者需要进行改造以适应新的工艺或设备。焊接是一种用途广泛的方法,既可用于修复损坏(例如裂缝或泄漏),也可用于进行改造(例如添加新的接口或改变腔体尺寸)。

减少污染:正确的焊接技术可以最大限度地减少腔室内的污染风险,这对于需要高纯度环境的工艺(例如半导体制造或材料科学实验)至关重要。

定制真空室的类型

高真空和超高真空产品

特征:

  1. 压力范围:

    • 高真空:通常在 10^-3 到 10^-7 Torr 之间。
    • 超高真空:通常低于 10^-7 Torr,最高可达 10^-12 Torr 或更低。
  2. 材料要求:高压和超高真空系统中使用的材料必须具有低释气率,以最大程度地减少污染和压力升高。常用材料包括不锈钢、铝和陶瓷。表面通常经过电抛光处理,以减少气体的吸收和解吸。

  3. 密封技术:密封件必须防止任何空气泄漏到真空系统中。由于金属密封件的释气率低于弹性体密封件,因此在超高真空系统中通常首选金属密封件。

  4. 真空泵:为了达到并维持所需的真空度,通常会使用不同类型的真空泵,而且往往是组合使用。涡轮分子泵和离子泵常见于超高真空(UHV)应用中,而旋片泵和扩散泵则常见于高真空(HV)装置中。

  5. 真空测量:精确测量至关重要。电离式真空计通常用于超高真空(UHV)条件下,因为它们对极低压力非常敏感。

适用范围

  1. 半导体制造:高压和超高真空环境对于半导体制造至关重要,可以防止污染,从而避免微芯片出现缺陷。

  2. 表面科学:涉及表面物理和化学性质的研究通常需要超高真空条件,以防止污染并允许准确测量表面相互作用。

  3. 粒子加速器:粒子加速器的运行中同时使用高压和超高真空,以最大限度地减少粒子与任何残留气体之间的相互作用,这些相互作用可能会影响实验结果的质量。

  4. 空间模拟舱:高压和超高真空舱用于模拟太空真空,以在与航天器在轨道上将遇到的条件类似的条件下测试航天器组件和传感器。

  5. 纳米技术:纳米级材料和器件的制造和研究通常需要超高真空条件,以确保表面纯度并实现对原子和分子的精确操控。

  6. 电子显微镜:超高真空在某些类型的电子显微镜中至关重要,这些显微镜需要真空条件来防止空气分子干扰用于对样品成像的电子束。

  7. 同步辐射设施:这些设施需要超高真空条件,以防止空气分子吸收或散射产生的同步辐射。

球形真空室

球形真空室
  • 特点:

    • 球形真空室顾名思义,形状呈球形。这种设计能够使压力从各个方向均匀分布,这对于某些类型的实验或过程非常有利。
    • 它们通常设有多个端口(开口),可用于插入仪器或进行抽真空和充气。这些端口的位置通常经过精心设计,以便灵活使用。
    • 球形有利于减少死角,防止气体积聚而无法有效排出。
  • 适用范围:

    • 球形腔室常用于等离子体研究、气体动力学和粒子物理等领域,在这些领域中,各向同性(在所有方向上均匀)条件是必需的。
    • 它们也适用于需要高真空度的应用,因为它们的设计可以促进更均匀的抽真空和更少的泄漏。
    • 非常适合需要从多个角度观察内部结构和进行操作的实验或应用。

圆柱形真空室

圆柱形真空室
  • 特点:

    • 圆柱形腔室的形状像圆柱体,两端为圆形,中间部分较长且笔直。这种形状在容积和表面积之间取得了良好的平衡,这在某些应用中非常有利。
    • 根据应用需求,它们可以水平放置或垂直放置,并且可以设计成能够容纳大型或长形物品。
    • 这些腔室通常更容易实现尺寸扩展,从小型桌面型号到大型工业尺寸。
  • 适用范围:

    • 由于圆柱形真空室能够容纳较长的基板,因此在半导体和涂层行业中广泛用于物理气相沉积 (PVD) 和化学气相沉积 (CVD) 等工艺。
    • 它们还被用于材料科学与工程领域,在真空条件下测试和开发新材料。
    • 适用于需要在定向访问和容量之间取得平衡的应用场景。

箱式(立方体)真空室

真空室
  • 特点:

    • 箱式真空室,顾名思义,呈盒状或立方体状。这种设计在给定占地面积内最大限度地增加了内部容积,从而提高了空间利用率。
    • 它们通常从顶部或侧面可以轻松进入内部,方便装卸材料或进行需要频繁交互的实验。
    • 箱式腔室可根据需求定制设计,配备多个端口、隔板和内部结构,以支持各种应用。
  • 适用范围:

    • 箱式试验箱常用于产品测试和质量保证实验室,以模拟产品可能遇到的真空条件,例如在航空航天和包装行业中。
    • 非常适合需要大型、易于进入的工作空间的应用,例如大规模工业流程、空间模拟和热真空测试。
    • 它们还用于材料科学、生物学和化学的研究与开发中,在这些领域,空间和可及性至关重要。

为什么选择我们?

选择百川意味着与一家不仅拥有强大的制造能力和尖端技术,而且对我们所服务的行业有着深刻理解的公司合作。

大量原材料库存

平台公司

全面的焊接和制造能力

超宽广且多类型的处理能力

先进的质量保证设施

完善的后期处理能力

没有什么比满意的客户的声音更有说服力了。

亚历克斯·约翰逊
亚历克斯·约翰逊工程经理
我们过去曾与多家供应商合作,但与百川精密公司的合作体验令人印象深刻。他们提供的真空腔不仅满足了我们严格的质量要求,还附带了相关认证,充分证明了其卓越品质。凭借其精湛的技术和在紧迫期限内交付的能力,百川精密公司帮助我们避免了代价高昂的延误。如今,百川精密公司已成为我们所有定制真空腔需求的首选合作伙伴。
劳拉史密斯
劳拉史密斯项目负责人
收到百川精密提供的真空腔体对我们的项目来说意义非凡。从工程设计到最终产品,他们对细节的关注正是我们所需要的。他们的团队提供的额外建议和支持更是至关重要,确保了真空腔体能够顺利集成到我们的系统中。百川精密的产品质量和服务给我们留下了深刻的印象。
纪念
纪念工业产品设计师
百川精密定制的真空室已到货,并与我们的系统完美集成。从所用材料到精湛的工艺,无不体现出其卓越的品质。他们的团队积极主动地与我们沟通,让我们在每个阶段都了解项目进展,确保项目顺利完成。百川精密为我们树立了供应商的新标杆。

自有物料仓库

物料仓库

您是否曾因原材料不符合要求而导致真空腔体出现缺陷?我们在成都和上海的仓库可提供超过2,000吨的现货铝材和不锈钢材料,满足各种尺寸真空腔体的加工需求,尤其适用于大型真空腔体的材料。我们配备了材料分析仪,对每批材料进行检测并出具材料证书,以确保您的真空腔体符合要求并拥有更长的使用寿命。

如何选择合适的材料?

真空腔是许多工业和科研应用中不可或缺的组件,例如半导体制造、材料科学研究和空间模拟测试。真空腔材料的选择至关重要,取决于具体应用的需求,例如真空度、耐化学性、机械性能和成本。

铝

因其重量轻、导热性好、性价比高而备受青睐,但不太适合化学腐蚀性强或超高真空应用。

不锈钢

它兼具耐用性、耐腐蚀性和低挥发性,是各种真空应用的理想选择。

钛

它们的强度重量比优异,耐腐蚀性极佳,是这些特性至关重要的特殊应用的理想选择,尽管成本较高。

零件后处理

工厂
清洁

真空室的清洁至关重要,尤其是在处理高真空 (HV) 和超高真空 (UHV) 系统时,即使是微量的污染物也会显著影响系统的性能。我们配备了专业的清洁车间,可以去除新完成的真空室表面的杂质和油渍。这种清洁效果无法用肉眼判断。

表面处理

我们提供一系列专业表面处理工艺供您选择:玻璃珠喷砂、机械抛光、喷砂和电抛光。我们的标准产品包括法兰和精密加工零件,表面粗糙度达到完美的 32 微英寸,密封表面则拥有超精细的 16 微英寸表面粗糙度。需要更高的精度?欢迎咨询我们的设计工程师,我们将根据您的具体要求量身定制解决方案。

喷砂

检查

欢迎来到我们最先进的净化车间!该车间经过精心设计,可确保超洁净的环境,这对于最大限度地减少敏感制造过程中的污染至关重要。

我们的万级洁净室每立方英尺空气中大于0.5微米的颗粒物少于35.2万个,这是我们行业高标准要求的重要指标。这种特殊的洁净环境使我们能够在最严格的洁净度和控制标准下对关键部件进行检验、组装和包装,从而确保我们产品的最高质量和可靠性。

车间配备了先进的空气过滤系统、严格控制的温湿度环境以及精密的静电和污染控制措施。车间内的每个区域都旨在优化生产流程的特定环节,从初始组装到最终检验,确保每个部件都符合我们以及我们眼光独到的客户的严格标准。

大型坐标测量机
尺寸检查

在常规尺寸检测流程中,我们首先在产品加工过程中以及加工完成后尽快进行机内检测。然后,将成品送至我们的三坐标测量机(CMM)进行二次尺寸检测。该CMM的最大检测范围为4000毫米,几乎可以检测所有产品。同时,每件产品都对应一份检测报告,您可以随时查看。

氦质谱检漏仪
泄漏测试

我们专注于为半导体行业提供高精度制造服务,因此,采用严格的泄漏测试程序对于维护我们作为高质量元器件供应商的声誉至关重要。我们先进的测试设备,包括氦质谱仪和超声波检测器,确保每个真空室都符合客户要求的最严格标准。

包装

真空包装是食品饮料、电子产品和制药等各个行业的关键工艺。这种包装方法在密封前抽出包装内的空气,显著降低包装内的氧气含量。氧气含量的降低有助于延长产品的保质期,保持产品品质,并防止外部因素的影响。

真空室应用

半导体制造
半导体制造

沉积(例如,物理气相沉积、化学气相沉积)、蚀刻和光刻。这些工艺需要在受控环境下进行,以确保在硅片上进行材料的高纯度和高精度分层和图案化。

医药和化学品
制药和化学品

在制药生产中,真空室用于冷冻干燥(冻干)以去除物质中的水分,从而提高药品的稳定性和保质期,而无需使用可能使产品变质的热量。

材料科学与工程
材料科学与工程

研究人员利用真空室研究材料在低压条件下的特性,这可以揭示出与大气压下不同的行为和特性。

空间模拟
空间模拟

模拟太空真空环境,测试航天器部件和卫星,确保它们能够承受在轨道上将面临的条件,包括极端温度和没有大气压力。

PVD机器
涂层技术

用于通过溅射或蒸发(PVD、CVD、FPD)等技术将材料薄膜沉积到基材上。这对于制造光学、电子和耐磨材料的涂层至关重要。

汽车行业
汽车行业

真空室用于去除汽车零部件中使用的塑料和树脂等材料中的气体。该工艺有助于减少缺陷,提高材料的质量和强度。

需要帮助?

常见问题

真空室通常采用不释放气体且蒸汽压低的材料制成,以维持稳定的真空环境。常用材料包括:

  • 不锈钢因其强度高、耐腐蚀、气体逸出率低而广受欢迎。
  • 铝因其轻便的特性和良好的导电性而被选中。
  • 钛及其他合金:用于对强度重量比和耐腐蚀性要求较高的应用场合。

真空腔最常用的材料是不锈钢。特别是304不锈钢,由于其强度高且能适应较大的温度变化范围,因此被广泛用于真空腔的制造。它具有良好的抗氧化性,并且可以通过焊接或钎焊连接。

我们生产各种真空腔,以满足不同应用和行业的需求:

  • 球形腔室:适用于需要均匀分布压力和最小死角的应用。
  • 圆柱形腔室由于其易于制造和用途广泛,因此很常见。
  • 箱式法庭:非常适合需要大内部空间和易于访问的应用。
  • 高真空室:专为需要真空度通常在 10^-6 至 10^-9 Torr 之间的应用而设计。这些腔室对于电子显微镜和某些薄膜沉积技术等工艺至关重要。
  • 超高真空室专为极低压力环境而设计,可达到低于 10^-9 Torr 的真空度。这在表面科学和粒子物理等领域至关重要,因为任何污染都可能影响实验结果。

是的,我们专长于定制真空腔,以满足客户的特定需求。无论您需要特定的尺寸、端口配置、馈通装置还是特殊涂层,我们都能根据您的具体要求量身定制产品。我们的工程团队与客户紧密合作,确保所有规格要求均得到满足。

当然。我们提供真空室安装、维护和维修的全面支持和服务方案。我们的团队可以协助现场安装,并为您的员工提供操作和维护程序方面的培训。

交货时间会根据腔室的复杂程度和定制程度而有所不同。通常,定制订单需要 4-10 周。我们始终致力于满足客户的时间安排,并在初步咨询中提供准确的预估时间。

CAD 文件格式不限:无论是 2D 还是 3D,我们都接受 STP、IGES、X_T、DWG、PDF、STL 等格式,确保没有我们无法处理的设计过于复杂。

项目详情:请告知您的预期数量、所需的加工工艺和材料要求,以便我们能够完美地根据您的需求量身定制服务。

精加工:指定任何二次加工工序,例如精加工细节、热处理、阳极氧化或电镀,以确保您的零件达到最高标准。

合规性和认证:请告知我们您遵守的任何关键行业标准或客户规范,包括首件检验、PPAP 要求和必要的认证。

其他信息:任何目标价格、期望交货时间或其他相关信息都将有助于我们调整服务以满足您的期望。

作为一家成立于2006年的公司,我们深知诚信的重要性,并极其重视保护客户的隐私。我们可以在收到您的图纸之前签署保密协议(NDA),所以请放心将您的设计交给我们!

没问题。您只需将各个角度的照片发送给我们,并告知我们样品的整体尺寸、材质、表面处理工艺和数量,我们就会给您一个大致的报价。如果您觉得价格合适,我们会根据您提供的图纸制作样品,并进行精细调整。

质量保证是我们生产流程中不可或缺的一部分。我们采取多种质量控制措施,包括:

  • 氦气泄漏测试:确保真空密封的完整性。
  • 材料检验:验证所用材料的质量和适用性。
  • 性能测试每个腔室都在运行条件下进行测试,以确保其符合所需规格。
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欢迎随时联系我们下单,我们将为您提供最高品质的真空室!

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